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原理
只有在密封箱室保持一定負壓的情況下才能采用這種方法。
這種方法主要在于測定事先用惰性氣體凈化過的密封箱室內部的氧氣濃度的增加與時間的函數關系。 事先用惰性氣體凈化密封箱室的目的在于把箱室內殘余的氧氣濃度降低到與要測的泄漏率相容的水平。
通過從檢驗開始到檢驗結束之間密封箱室中氧氣濃度的變化，可以利用下式導出密封箱室的小時泄漏率。
程序
讓不活潑氣體（高純度氮氣或氬氣）流經箱室足夠長的時間以凈化箱室，連續監測氧氣的濃度。如果 必要，可以使用混合設備（例如在箱室內安裝風扇）。
當氧氣濃度下降的速度和氧氣濃度足夠低（大約100vpm左右）時，停止凈化過程，關閉密封箱室的排 氣閥。
開動壓力調節器把壓力調節到工作相對壓力（至少為250Pa，對于驗收檢驗為1000Pa），在這同時先 使測量系統內的氣體保持循環，隨后同密封箱室內的氣體也保持循環。
在氧分析儀讀數穩定后，記下密封箱室內部的初始氧氣濃度O2i、氣壓、溫度和相對壓力。
經過一段時間t，t的長短與要測的小時泄漏率相應（通常為30min），記下密封箱室內部的終了氧氣 濃度O2f、氣壓、溫度和相對壓力。
含氧法的特點
這種方法特別適合于充有惰性氣氛的密封箱室。這種方法能夠測量很低的泄漏率。它具有對溫度和氣 壓變化不太敏感的優點。不過，這種方法需要密封箱室中的氣體完全混合，特別是對于大體積密封箱室。
檢驗有效的條件
檢驗有效的條件
檢驗過程中，應當滿足下述條件：
a）內部溫度變化小于3℃；
b）大氣壓變化小于1000Pa；
c）箱室內部相對壓力的變化小于50Pa。
如果這些條件沒有全部滿足，必須重新進行檢驗。但是，在這些限值范圍以內，不必由于這些變化而 對檢驗結果進行任何修正。
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